【原创发布】光刻机的种类和区别—光刻机种类与区别解析
光刻机的种类与区别解析 一、接触式光刻机与非接触式光刻机 接触式光刻机是指在光刻胶层上直接接触式地曝光,然后进行显影和蚀刻的光刻机。接触式光刻机的特点是曝光质量高,分辨率好,但是对于光刻胶层的厚度有一定的要求。非接触式光刻机是指通过光刻机的光学系统将光线聚焦在光刻胶层上,进行曝光,然后进行显影和蚀刻的光刻机。非接触式光刻机的特点是对于光刻胶层的厚度要求不高,但是曝光质量和分辨率相对接触式光刻机稍差。 二、直接式光刻机与投影式光刻机 直接式光刻机是指在光刻胶层上直接进行曝光的光刻机,通过控制光源